每種薄膜材料都有自己獨(dú)特的光學(xué)透射率或反射率。通過(guò)監(jiān)測(cè)荔口反射率，可以有效判斷薄膜的質(zhì)量。TFT在制造工程中，應(yīng)進(jìn)行檢測(cè)ITO膜滲透率和金屬膜反射率，監(jiān)測(cè)濺射膜的質(zhì)量，并進(jìn)行膜管理。如果成膜后腹質(zhì)異常，其滲透率或反射率會(huì)發(fā)生變化的成膜質(zhì)量可以通過(guò)這種變化初步判斷。對(duì)于金屬膜，主要用于瀏覽鋁膜或鋁鈮膜的反射率，通過(guò)鋁膜或鋁鈮膜的反射率進(jìn)行膜管理。

圖1示是ITO膜禾玻璃的光學(xué)透射率的比較。圖中虛曲線所示是玻璃的光學(xué)透射率，實(shí)曲線所示是ITO膜的光學(xué)透射率。

這兩條曲線在可見(jiàn)光譜區(qū)域非常相似。玻璃是絕緣體，可以理解在可見(jiàn)光范圍內(nèi)有良好的通過(guò)率。ITO膜是一種液晶像素電極，不僅要求其高導(dǎo)電性，而且要求其在光譜可見(jiàn)區(qū)具有類似玻璃的均勻高透射性，這是相當(dāng)困難的。這是一對(duì)矛盾，良好的導(dǎo)電性是金屬性強(qiáng)，但可見(jiàn)光區(qū)域金屬性強(qiáng)的透射很高。這需要在透光率和導(dǎo)電性之間找到平衡ITO化學(xué)組織口膜厚度偏差最敏感的監(jiān)測(cè)方法是ITO測(cè)量膜的透射光譜。

圖1 ITO膜和玻璃光學(xué)透射率的比較

圖2 所示是鋁鈮和鉬釹的光學(xué)反射取現(xiàn)、鉻的反射率分布曲線。

圖2 鋁鈮、鉬釹和鉻反射率